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HOME / 제품 소개 / 진동 시스템 / Passive Isolator / 벨로즈 Passive 제진대
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제품 설명
내장형 Oil Damper Type
UNIT type으로 전 모델의 높이를 155mm로 표준화
장치 상부의 Motion에 대하여 신속한 제어 가능
반복 정밀도가 ±100㎛ 이내인 2단식 센서를 장착
이동 하중에 대하여 신속한 제어 가능
제품 용도
반도체 제조 및 검사 장치
FPD 제조 및 검사 장치
정밀 스테이지 장치
제품 성능
제품 모델
Model MKB-0590 MKB-0930 MKB-1500
Natural Frequency 2.5±0.3Hz
(Vertical/ Horizontal)
2.5±0.3Hz
(Vertical/ Horizontal)
2.2±0.3Hz
(Vertical/ Horizontal)
Isolation Air Suspension
Leveling Automatic Leveling by mechanical air valve (Positioning Tolerance : ±100um)
Dimension (mm) 270x270x155 340x340x155 400x400x155
Weight (kg/unit) 30kg 45kg 60kg
Payload (kgf/4unit) 5900kgf 9300kgf 15000kgf
AxB (mm) 240x240 308x308 368x368
ØC (mm) Ø14 Ø16 Ø16
Air Pressure (MPa) 0.5MPa
※상기 외 모델도 주문 제작 가능
제품 외형도
도면 다운로드 (.dwg)