HOME / 제품 소개 / 진동 시스템 / Passive Isolator / 벨로즈 Passive 제진대 제품 설명 내장형 Oil Damper Type UNIT type으로 전 모델의 부상높이를 155mm로 표준화 장치 상부의 Motion에 대하여 신속한 제어 가능 반복 정밀도가 ±100㎛ 이내인 2단식 센서를 장착 이동 하중에 대하여 신속한 제어 가능 제품 용도 반도체 제조 및 검사 장치 FPD 제조 및 검사 장치 정밀 스테이지 장치 제품 성능 제품 모델 Model MKB-0390 MKB-0590 MKB-0930 MKB-1500 Natural Frequency 2.5±0.3Hz (Vertical/ Horizontal) 2.5±0.3Hz (Vertical/ Horizontal) 2.5±0.3Hz (Vertical/ Horizontal) 2.2±0.3Hz (Vertical/ Horizontal) Isolation Air Suspension Leveling Automatic Leveling by mechanical air valve (Positioning Tolerance : ±100um) Dimension (mm) 225x225x155 270x270x155 340x340x155 400x400x155 Weight (kg/unit) 20kg 30kg 45kg 60kg Payload (kgf/4unit) 3900kgf 5900kgf 9300kgf 15000kgf AxB (mm) 200x200 240x240 308x308 368x368 ØC (mm) Ø12 Ø14 Ø16 Ø16 Air Pressure (MPa) 0.5MPa ※상기 외 모델도 주문 제작 가능 제품 외형도