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HOME / 제품 소개 / 진동 시스템 / Passive Isolator / 광학 테이블
페시브제진대 고성능페시브제진대 벨로즈페시브제진대 코일스프링형페시즈제진대 광학테이블
데스크형페시브제진대 탁상형페시브제진대 탁상형 광학 테이블
제품 설명
고유진동수가 수직방향 1.1Hz, 수평방향 0.5Hz로 제진성능 우수
Parallel Swing Mechanism 장착
신소재 αGEL를 이용한 신형 Damper로 제진성능을 손상시키지 않고 수직, 수평 방향의 복귀시간을 단축
고성능의 광학테이블로 진동에 민감한 Interferometer 및 Holography 장치에 적합
Honeycomb 구조
클린룸 Class 100 환경에서도 사용 가능
제품 용도
Optical Assembly Operations
Laser Systems
Interferometer
제품 모델
Model AYA-1007K5 AYA-1209K5 AYA-1510K5 AYA-1809K5
Natural Frequency Vertical : 1.1Hz / Horizontal : 0.5Hz
Isolation Vertical : Diaphragm air spring / Horizontal : Parallel swing mechanism
Damping Vertical : Air damping using variable orifices,
Horizontal : Special damping using the αGEL
Leveling Automatic levelers keep the surface table level automatically
Dimension (mm) 1030x730 1200x900 1500x1000 1800x900
Height (mm) 800
Table Thickness
(mm)
100 200
Table Material Steel Honeycomb : Top plate SUS430 5t(6t), Bottom plate SS400 4.5t
Weight (kg) 170kg 250kg 325kg 350kg
Payload (kgf) 300kgf
Air Pressure (MPa) 0.35Mpa ~ 0.70MPa
Model AYA-1812K5 AYA-2010K5 AYA-2412K5 AYA-3015K5
Natural Frequency Vertical : 1.1Hz / Horizontal : 0.5Hz Vertical : 1.2Hz
Horizontal : 0.8Hz
Isolation Vertical : Diaphragm air spring / Horizontal : Parallel swing mechanism
Damping Vertical : Air damping using variable orifices,
Horizontal : Special damping using the αGEL
Leveling Automatic levelers keep the surface table level automatically
Dimension (mm) 1800x1200 2000x1000 2400x1200 3000x1500
Height (mm) 800
Table Thickness
(mm)
200 300
Table Material Steel Honeycomb : Top plate SUS430 5t(6t), Bottom plate SS400 4.5t
Weight (kg) 410kg 385kg 505kg 810kg
Payload (kgf) 300kgf
Air Pressure (MPa) 0.35Mpa ~ 0.70MPa
※상기 외 모델도 주문 제작 가능
제품 선택시 주의사항
1. AYA type K5 모델은 Auto Leveling Sensor가 집중 배기 Type으로 클린룸 (CLASS 100)에서도 사용 가능
2. Honeycomb 상판은 M6 tap hole, 25mm Metric이 표준 사양
3. AYA type K4 모델은 AYA type K5 모델과 제진성능은 같으나 클린룸 사용이 불가