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HOME / 제품 소개 / 진동 시스템 / Passive Isolator / 고성능 Passive 제진대
페시브제진대 고성능페시브제진대 벨로즈페시브제진대 코일스프링형페시즈제진대 광학테이블
데스크형페시브제진대 탁상형페시브제진대 탁상형 광학 테이블
제품 설명
공기스프링 + 적층고무의 구조로 고유진동수 수직 1.8Hz, 수평 1.5Hz 실현
UNIT type으로 전 모델의 높이를 220mm로 표준화
반복 정밀도가 ±100㎛ 이내인 2단식 센서를 장착
10Hz 미만의 저주파수 진동 제어에 탁월한 효과
제품 용도
반도체 제조 및 검사 장치
FPD 제조 및 검사 장치
전자현미경 및 원자현미경 (SEM, TEM)
레이져 가공 장치
정밀 스테이지 장치
정밀 제조 장치
제품 성능
제품 모델
Model AP-230MKC AP-270MKC AP-330MKC
Natural Frequency Vertical : 1.5Hz~2.0Hz / Horizontal : 1.0Hz~1.8Hz
Isolation Air Suspension
Damping Damping by Orifice
Leveling Automatic Leveling by mechanical air valve (Positioning Tolerance : ±100um)
Dimension (mm) 300x300x220 320x320x220 370x370x220
Weight (kg/unit) 46kg 56kg 72kg
Payload (kgf/4unit) 6200kgf 8600kgf 13000kgf
AxB (mm) 270x270 290x290 340x340
ØC (mm) Ø13 Ø13 Ø13
Air Pressure (MPa) 0.5MPa
※상기 외 모델도 주문 제작 가능
제품 외형도
도면 다운로드 (.dwg)