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| HOME / 제품 소개 / 진동 시스템 / Passive Isolator / 고성능 Passive 제진대 |
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제품 설명 |
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공기스프링 + 적층고무의 구조로 고유진동수 수직 1.8Hz, 수평 1.5Hz 실현 |
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UNIT type으로 전 모델의 높이를 220mm로 표준화 |
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반복 정밀도가 ±100㎛ 이내인 2단식 센서를 장착 |
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10Hz 미만의 저주파수 진동 제어에 탁월한 효과 |
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제품 용도 |
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반도체 제조 및 검사 장치 |
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FPD 제조 및 검사 장치 |
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전자현미경 및 원자현미경 (SEM, TEM) |
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레이져 가공 장치 |
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정밀 스테이지 장치 |
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정밀 제조 장치 |
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제품 성능 |
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제품 모델 |
| Model |
AP-230MKC |
AP-270MKC |
AP-330MKC |
| Natural Frequency |
Vertical : 1.5Hz~2.0Hz / Horizontal : 1.0Hz~1.8Hz |
| Isolation |
Air Suspension |
| Damping |
Damping by Orifice |
| Leveling |
Automatic Leveling by mechanical air valve (Positioning Tolerance : ±100um) |
| Dimension (mm) |
300x300x220 |
320x320x220 |
370x370x220 |
| Weight (kg/unit) |
46kg |
56kg |
72kg |
| Payload (kgf/4unit) |
6200kgf |
8600kgf |
13000kgf |
| AxB (mm) |
270x270 |
290x290 |
340x340 |
| ØC (mm) |
Ø13 |
Ø13 |
Ø13 |
| Air Pressure (MPa) |
0.5MPa |
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제품 외형도 |
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