|
|
|
| HOME / 제품 소개 / 진동 시스템 / Active Isolator / Active MAPS 제진대 |
 |
|
 |
제품 설명 |
|
 |
6자유도 진동에 대응 |
|
Passive Isolator에서 취약한 10Hz 미만의 저주파수 대역까지 공진을 제거 |
|
Feedback제어, Feedforward제어로 Stage 등의 이동하중에 대하여 흔들림을 극소화 |
|
반복 정밀도가 아주 우수 |
|
UNIT type으로 전 모델의 높이를 190mm로 표준화 |
|
|
제품 성능 |
|
제품 구성품 |
|
|
MAPS Actuator : 4units |
|
Controller & Amplifier : 1set |
|
Air Pressure & Regulator : 1set |
|
Electric Cables : 1set |
|
Air Tubes : 1set |
|
Users' Manual : 1pcs |
|
|
 |
| Controller & Amplifier (W430xD450xH133mm, 10kg) |
|
|
제품 모델 |
| Model |
MAPS-008 |
MAPS-016 |
MAPS-033 |
MAPS-065 |
MAPS-130 |
MAPS-240 |
Payload (kN)
(kgf/4unit) |
4 ~ 8
(400~800) |
8 ~ 16
(800~1600) |
16 ~ 33
(1600~3400) |
33 ~ 65
(3400~6600) |
65 ~ 130
(6600~13300) |
130 ~ 240
(13300~24500) |
| Dimension (mm) |
235x235x130 |
296x296x140 |
350x350x150 |
450x450x190 |
600x480x190 |
710x600x190 |
| Weight (kg/unit) |
13kg |
42kg |
63kg |
110kg |
180kg |
230kg |
| Air Pressure (MPa) |
0.6MPa ~ 0.8MPa (Dry Clean Air) |
| Air Consumption |
45 ~ 65 ℓ/min (Standard) |
120 ~ 170 ℓ/min (Standard) |
| 120 ℓ/min (Max) |
300 ℓ/min (Max) |
| Power Supply Voltage |
100V ~ 240V (AC단상, 50/60Hz) |
| Power Consumption |
400W |
450W |
| Positioning Tolerance |
0.001mm ~ 0.050mm |
| Degrees of Freedom |
6 |
|
제품 외형도 |
|
|
|
|
|
 |
|
|
|
