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HOME / 제품 소개 / 진동 시스템 / Passive Isolator / 코일스프링 Passive 제진대
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제품 설명
압축 Coil Spring + 점성유체 Damper에 의한 Surging, 공진 배율을 제어
Air 등의 Utility를 미사용
장 기간의 사용에도 변형이 없음
점성유체의 점도를 변경하여 최적의 감쇠비를 설정 가능
제품 용도
반도체 제조 및 검사 장치
FPD 제조 및 검사 장치
정밀 스테이지 장치
산업용 제조 장치
제품 모델
Model SMI-120 SMI-7000
Natural Frequency Vertical : 6.5Hz / Horizontal : 4.0Hz Vertical : 3.0Hz / Horizontal : 2.5Hz
Weight (kg/unit) 4kg 54kg
Dimension (mm) W185ⅹD115ⅹH94 W400ⅹD300ⅹH280
Payload (kgf/4unit) 160kgf 6400kgf
※상기 외 모델도 주문 제작 가능