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제품 설명 |
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압축 Coil Spring + 점성유체 Damper에 의한 Surging, 공진 배율을 제어 |
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Air 등의 Utility를 미사용 |
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장 기간의 사용에도 변형이 없음 |
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점성유체의 점도를 변경하여 최적의 감쇠비를 설정 가능 |
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제품 용도 |
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반도체 제조 및 검사 장치 |
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FPD 제조 및 검사 장치 |
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정밀 스테이지 장치 |
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산업용 제조 장치 |
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제품 모델 |
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| Model |
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SMI-120 |
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SMI-7000 |
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| Natural Frequency |
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Vertical : 6.5Hz / Horizontal : 4.0Hz |
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Vertical : 3.0Hz / Horizontal : 2.5Hz |
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| Weight (kg/unit) |
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4kg |
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54kg |
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| Dimension (mm) |
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W185ⅹD115ⅹH94 |
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W400ⅹD300ⅹH280 |
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| Payload (kgf/4unit) |
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160kgf |
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6400kgf |
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