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제품 설명 |
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반도체, FPD 분야에서 수많은 실적과 기술을 보유 |
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UNIT type으로 전 모델의 높이를 185mm로 표준화 |
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모델이 11가지로 세분화되어 광범위한 탑재하중의 대응이 가능 |
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반복 정밀도가 ±100μm 이내인 2단식 센서를 장착 |
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이동 하중에 대하여 신속한 제어 가능 |
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제품 용도 |
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반도체 제조 및 검사 장치 |
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FPD 제조 및 검사 장치 |
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전자현미경 및 원자현미경 (SEM, TEM) |
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레이져 가공 장치 |
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정밀 스테이지 장치 |
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정밀 제조 장치 |
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제품 성능 |
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제품 모델 |
| Model |
AP-80 |
AP-100 |
AP-120 |
AP-140 |
AP-160 |
AP-180 |
| Natural Frequency |
2.5Hz ~ 3.0Hz (Vertical, Horizontal) |
| Isolation |
Air Suspension |
| Damping |
Damping by Orifice |
| Leveling |
Automatic Leveling by mechanical air valve (Positioning Tolerance : ±100μm) |
| Dimension (mm) |
170ⅹ170ⅹ185 |
180ⅹ180ⅹ185 |
200ⅹ200ⅹ185 |
210ⅹ210ⅹ185 |
240ⅹ240ⅹ185 |
250ⅹ250ⅹ185 |
| Weight (kg/unit) |
10kg |
14kg |
15kg |
19kg |
21kg |
27kg |
| Payload (kgf/4unit) |
560 |
880 |
1200 |
1700 |
2200 |
2800 |
| AxB (mm) |
150ⅹ150 |
160ⅹ160 |
176ⅹ176 |
186ⅹ186 |
210ⅹ210 |
230ⅹ230 |
| ØC (mm) |
Ø10 |
Ø10 |
Ø10 |
Ø10 |
Ø13 |
Ø13 |
| Air Pressure (MPa) |
0.40MPa ~ 0.70MPa |
| Model |
AP-200 |
AP-230 |
AP-270 |
AP-330 |
AP-380 |
| Natural Frequency |
2.5Hz ~ 3.0Hz (Vertical, Horizontal) |
| Isolation |
Air Suspension |
| Damping |
Damping by Orifice |
| Leveling |
Automatic Leveling by mechanical air valve (Positioning Tolerance : ±100μm) |
| Dimension (mm) |
260ⅹ260ⅹ185 |
300ⅹ300ⅹ185 |
320ⅹ320ⅹ185 |
370ⅹ370ⅹ185 |
430ⅹ430ⅹ185 |
| Weight (kg/unit) |
32kg |
43kg |
52kg |
67kg |
90kg |
| Payload (kgf/4unit) |
3600 |
4600 |
6400 |
9600 |
13000 |
| AxB (mm) |
230ⅹ230 |
270ⅹ270 |
290ⅹ290 |
340ⅹ340 |
400ⅹ400 |
| ØC (mm) |
Ø13 |
Ø13 |
Ø13 |
Ø13 |
Ø13 |
| Air Pressure (MPa) |
0.40MPa ~ 0.70MPa |
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제품 외형도 |
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