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제품 설명
반도체, FPD 분야에서 수많은 실적과 기술을 보유
UNIT type으로 전 모델의 높이를 185mm로 표준화
모델이 11가지로 세분화되어 광범위한 탑재하중의 대응이 가능
반복 정밀도가 ±100μm 이내인 2단식 센서를 장착
이동 하중에 대하여 신속한 제어 가능
제품 용도
반도체 제조 및 검사 장치
FPD 제조 및 검사 장치
전자현미경 및 원자현미경 (SEM, TEM)
레이져 가공 장치
정밀 스테이지 장치
정밀 제조 장치
제품 성능
제품 모델
Model AP-80 AP-100 AP-120 AP-140 AP-160 AP-180
Natural Frequency 2.5Hz ~ 3.0Hz (Vertical, Horizontal)
Isolation Air Suspension
Damping Damping by Orifice
Leveling Automatic Leveling by mechanical air valve (Positioning Tolerance : ±100μm)
Dimension (mm) 170ⅹ170ⅹ185 180ⅹ180ⅹ185 200ⅹ200ⅹ185 210ⅹ210ⅹ185 240ⅹ240ⅹ185 250ⅹ250ⅹ185
Weight (kg/unit) 10kg 14kg 15kg 19kg 21kg 27kg
Payload (kgf/4unit) 560 880 1200 1700 2200 2800
AxB (mm) 150ⅹ150 160ⅹ160 176ⅹ176 186ⅹ186 210ⅹ210 230ⅹ230
ØC (mm) Ø10 Ø10 Ø10 Ø10 Ø13 Ø13
Air Pressure (MPa) 0.40MPa ~ 0.70MPa
Model AP-200 AP-230 AP-270 AP-330 AP-380
Natural Frequency 2.5Hz ~ 3.0Hz (Vertical, Horizontal)
Isolation Air Suspension
Damping Damping by Orifice
Leveling Automatic Leveling by mechanical air valve (Positioning Tolerance : ±100μm)
Dimension (mm) 260ⅹ260ⅹ185 300ⅹ300ⅹ185 320ⅹ320ⅹ185 370ⅹ370ⅹ185 430ⅹ430ⅹ185
Weight (kg/unit) 32kg 43kg 52kg 67kg 90kg
Payload (kgf/4unit) 3600 4600 6400 9600 13000
AxB (mm) 230ⅹ230 270ⅹ270 290ⅹ290 340ⅹ340 400ⅹ400
ØC (mm) Ø13 Ø13 Ø13 Ø13 Ø13
Air Pressure (MPa) 0.40MPa ~ 0.70MPa
제품 외형도
도면 다운로드 (.dwg)