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HOME / 제품 소개 / 진동 시스템 / Active Isolator / 데스크형/탁상형 Active 제진대
제품 설명
6자유도 Active 제어
사용 환경에 알맞게 Desk & Tabletop 2가지 Type을 선택 가능
2Hz 부근의 저주파 대역의 진동을 Passive Isolator와 비교하여 1/30까지 감쇠
Pneumatic Type의 Active Isolator
장소에 구애받지 않고 설치되도록 소형으로 제작
제품 용도
AFM
STM
Confocal 레이져 현미경
간섭계 시스템
3차원 표면형상 측정기
레이져 변위계 시스템
각종 정밀측정, 정밀 가공기
제품 성능
제품 모델
Model MATIS (Tabletop) MATIS (Desk) Controller
ATT-0605 ATT-0806 ATT-1007 ADT-0605 ADT-0806 ADT-1007 MCA-2B
Product
Dimensions (mm)
623x543x103 804x604x166 1004x704x166 702x602x750 902x702x750 1102x802x750 177x280x260
Product Weight
(kg)
40kg 80kg 125kg 100kg 125kg 150kg 5.5kg
Top Plate Dimensions (mm) 590x510 800x600 1000x700 590x510 800x600 1000x700 -
Payload Weight (kgf) 150kg -
Air Pressure (MPa) 0.35MPa ~ 0.8MPa (Dry Clean Air) -
Power Supply Voltage - AC 100V
Power Consumption - 210W
Isolation Method Linear motor vibration control -
Damping Method Linear motor vibration control -
Leveling Method Mechanical valve leveling -
Degrees of Freedom 6 -