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HOME / 제품 소개 / 진동 시스템 / Active Isolator / Active MRZ 제진대
active MAPS 제진대 active MRZ 제진대 탁상형 active 제진대
제품 설명
6자유도 진동에 대응
Passive Isolator에서 취약한 10Hz 미만의 저주파수 대역까지 공진을 제거
Feedback제어, Feedforward제어로 Stage 등의 이동하중에 대하여 흔들림을 극소화
반복 정밀도가 아주 우수
UNIT type으로 전 모델의 높이를 191mm로 표준화
제품 성능
제품 구성품
MRZ Actuator : 4units
Controller & Amplifier (W435xD300xH118mm, 7.5kg): 1set
Air Pressure & Regulator : 1set
Electric Cables : 1set
Air Tubes : 1set
Users' Manual : 1pcs
제품 모델
Model MRZ-120 MRZ-200 MRZ-330 MRZ-520
Payload Range per 4 units 500~1,500 1,500~4,400 4,400~12,800 10,000~32,000
Dimension (mm) 240x240x191 324x252x191 504x404x191 694x594x191
Mass of a UNIT(kg) 25 34 60 110
Air Pressure (MPa) 0.6MPa ~ 0.8MPa (Clean dry Air)
Air Consumption 45 ~ 65 ℓ/min (Standard) 120 ~ 170 ℓ/min (Standard)
120 ℓ/min (Max) 300 ℓ/min (Max)
Power Supply Voltage(V) 100V ~ 240V (AC단상, 50/60Hz)
Maximum Power Consumption(VA) 120
Environmental Temperature(℃) 0~40
Relative Humidity(%RH) 35~85
Vibration Isolation method Vibration Isolation by Air pressure Control
제품 외형도