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| HOME / 제품 소개 / 진동 시스템 / Active Isolator / Active MRZ 제진대 |
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제품 설명 |
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6자유도 진동에 대응 |
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Passive Isolator에서 취약한 10Hz 미만의 저주파수 대역까지 공진을 제거 |
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Feedback제어, Feedforward제어로 Stage 등의 이동하중에 대하여 흔들림을 극소화 |
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반복 정밀도가 아주 우수 |
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UNIT type으로 전 모델의 높이를 191mm로 표준화 |
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제품 성능 |
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제품 구성품 |
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MRZ Actuator : 4units |
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Controller & Amplifier (W435xD300xH118mm, 7.5kg): 1set |
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Air Pressure & Regulator : 1set |
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Electric Cables : 1set |
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Air Tubes : 1set |
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Users' Manual : 1pcs |
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제품 모델 |
| Model |
MRZ-120 |
MRZ-200 |
MRZ-330 |
MRZ-520 |
| Payload Range per 4 units |
500～1,500 |
1,500～4,400 |
4,400～12,800 |
10,000～32,000 |
| Dimension (mm) |
240x240x191 |
324x252x191 |
504x404x191 |
694x594x191 |
| Mass of a UNIT(kg) |
25 |
34 |
60 |
110 |
| Air Pressure (MPa) |
0.6MPa ~ 0.8MPa (Clean dry Air) |
| Air Consumption |
45 ~ 65 ℓ/min (Standard) |
120 ~ 170 ℓ/min (Standard) |
| 120 ℓ/min (Max) |
300 ℓ/min (Max) |
| Power Supply Voltage（V） |
100V ~ 240V (AC단상, 50/60Hz) |
| Maximum Power Consumption（VA） |
120 |
| Environmental Temperature(℃) |
0~40 |
| Relative Humidity(%RH) |
35~85 |
| Vibration Isolation method |
Vibration Isolation by Air pressure Control |
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제품 외형도 |
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